半導体製造設備の最大活用をサポート
装置の安定稼働を支えるフィールドサービス。事前の打ち合わせで定めたメンテナンス項目や手順、スケジュールなどをまとめたサービスマニュアルにもとづいて、お客様の工場へエンジニアを派遣。きめ細かく的確に設備をオーバーホール・メンテナンスします。熟練した技術者の知識と経験で障害の発生を未然に防止し、設備の最大活用を効率的にサポートします。
事例
設備本体およびパーツのオーバーホール（分解・手入れ・組立・テスト）。
オーダーフロー
フィールドサービスのご依頼から作業開始までの基本的な流れ。
- オーバーホールご依頼
- 打ち合わせ・検収条件の確認
- お見積もり
- 作業開始
ご依頼いただきますと、お客様とお打ち合わせの上、交換部品や点検項目、作業範囲、スケジュールなどの詳細を確認。 また、検収スペックや立ち上げ項目などの稼働条件を綿密なヒアリングを通じてしっかり把握いたします。その後、お見積りの上、スケジュールに合わせて作業を開始いたします。
また、周期的な定期点検や障害発生時の復旧作業など、長年にわたり半導体装置の運用を手掛けてきたノウハウを活かした保守サービスのご提案が可能です。
メンテナンス装置実績
これまでフィールドサービスでメンテナンスを手掛けた装置の一例をご紹介します。
| エリア | メーカー | 型式 |
|---|---|---|
| 拡散（LPCVD） | 東京エレクトロン | VDF／VCF-615、α-6、α-8、IW-6 |
| 日本ASM | A-400、VMP100PRO | |
| CVD | AMJ | P-5000、Centura |
| 日本ASM | Eagle10 | |
| 東京エレクトロン | MB2 | |
| 天谷製作所 | AEC2260、ATO600 | |
| キヤノン | APT4800 | |
| ノベラス | Concept One | |
| スパッタ | キヤノンアネルバ | ILC1051／1060 |
| Varian | 3180、3280 | |
| AMJ | Endura | |
| 搬送系 | ダイフク | - |
| イオン注入 | Nova | NV10、GSD80A |
| 日新 | NH20SR | |
| アルバック | IW630 | |
| 蒸着 | アルバック | EBX16C |
| エッチング | AMJ | P-5000、Centura |
| HITACHI | M308ATW、M501A | |
| プラズマシステム | DES-405E | |
| 東京エレクトロン | Unty64SI、65D | |
| 東京応化 | TUE1101／1102 | |
| ホトリソ | ニコン | NSR-2205i11D |
| 東京エレクトロン | V8000C‐P1 | |
| 東京応化 | TR8352SD |