フィールドサービス(エンジニア派遣)

お客様の工場にエンジニアを派遣、半導体設備の安定稼働を支える保守サービス

半導体製造設備の最大活用をサポート

装置の安定稼働を支えるフィールドサービス。事前の打ち合わせで定めたメンテナンス項目や手順、スケジュールなどをまとめたサービスマニュアルにもとづいて、お客様の工場へエンジニアを派遣。きめ細かく的確に設備をオーバーホール・メンテナンスします。熟練した技術者の知識と経験で障害の発生を未然に防止し、設備の最大活用を効率的にサポートします。

事例

設備本体およびパーツのオーバーホール(分解・手入れ・組立・テスト)。

ソースハウジングのオーバーホール
アパチャーのオーバーホール

オーダーフロー

フィールドサービスのご依頼から作業開始までの基本的な流れ。

1)オーバーホールご依頼、2)打ち合わせ・検収条件の確認、3)お見積もり、4)作業開始
  1. オーバーホールご依頼
  2. 打ち合わせ・検収条件の確認
  3. お見積もり
  4. 作業開始

ご依頼いただきますと、お客様とお打ち合わせの上、交換部品や点検項目、作業範囲、スケジュールなどの詳細を確認。 また、検収スペックや立ち上げ項目などの稼働条件を綿密なヒアリングを通じてしっかり把握いたします。その後、お見積りの上、スケジュールに合わせて作業を開始いたします。

また、周期的な定期点検や障害発生時の復旧作業など、長年にわたり半導体装置の運用を手掛けてきたノウハウを活かした保守サービスのご提案が可能です。

メンテナンス装置実績

これまでフィールドサービスでメンテナンスを手掛けた装置の一例をご紹介します。

エリアメーカー型式
拡散(LPCVD)東京エレクトロンVDF/VCF-615、α-6、α-8、IW-6
日本ASMA-400、VMP100PRO
CVDAMJP-5000、Centura
日本ASMEagle10
東京エレクトロンMB2
天谷製作所AEC2260、ATO600
キヤノンAPT4800
ノベラスConcept One
スパッタキヤノンアネルバILC1051/1060
Varian3180、3280
AMJEndura
搬送系ダイフク-
イオン注入NovaNV10、GSD80A
日新NH20SR
アルバックIW630
蒸着アルバックEBX16C
エッチングAMJP-5000、Centura
HITACHIM308ATW、M501A
プラズマシステムDES-405E
東京エレクトロンUnty64SI、65D
東京応化TUE1101/1102
ホトリソニコンNSR-2205i11D
東京エレクトロンV8000C‐P1
東京応化TR8352SD