真空ポンプO/H

ドライポンプやクライオポンプ、各種ロボットなど半導体製造装置のメンテンナス、オーバーホール、改造まで、確かな技術でご要望に応じます。

設計・開発

ハード設計からソフト開発まで一貫した開発により生産設備や検査機器など、ご要望に応じた自動機、治工具を低コスト・短納期でご提供します。

フィールドサービス

お客様の工場にサービスエンジニアを派遣、熟練の技術者が半導体製造関連設備のオーバーホール、メンテナンスを行います。