真空ポンプオーバーホール

ドライポンプをはじめ真空機器のオーバーホール、メンテナンスサービス

工場の生産価値を最大限に向上

ドライポンプを中心に、クライオポンプやロボットなど真空機器全般のオーバーホールからポンプの改造・改良を含めたメンテナンスサービスを展開。長年にわたり半導体製造現場で保守業務を手掛けてきた技術者のノウハウを活かした修理・点検技術で、お客様の工場の信頼性・生産価値を最大限に向上させます。

ドライポンプオーバーホール

ポンプ本体の分解・洗浄、不具合箇所の修理・交換、組立試験まで技術者がきめ細かくメンテナンスします。

オーバーホール作業の流れ

  1. 1分解

    ポンプ内部の状態や故障原因、部品の破損・摩耗など、分解して確認します。

  2. 2洗浄

    弱アルカリ溶液を使った超音波洗浄・手洗い洗浄で脱脂を行います。必要に応じてビーズショットブラストを施しサビや付着物などを徹底的に除去します。

  3. 3手入れ

    洗浄後のパーツを手仕上げで磨き上げ、各パーツの採寸、欠損・不良品などをチェック。標準交換部品の取り換えを行います。特別交換部品が発生した場合はお客様に承認伺いを行います。

  4. 4本体組立・試験

    ポンプ本体の組立、リークチェック、塗装劣化の場合は再塗装を行い、装置全体を組み立てます。

  5. 5総合組立・試験

    装置全体の総合組立完了後、圧力、振動など各種運転テストを実施、適切に作動することを確認します。また、結果報告書を作成し、今後のメンテナンスにお役立ていただけます。

    報告書記載
    共通項目:到達圧力、電流値、リークチェック結果
    特殊項目:45〜60Hz能力
    社内保管記録
    その他:各センサ動作、振動、各種流量、連続運転など

サービス内容

標準納期:1ヶ月(弊社到着〜出荷)
交換部品:規定の標準交換部品の交換を含む。劣化、消耗等による特別交換部品が発生した場合の交換は別途費用が必要です。
保証期間:納品後6ヶ月

その他、詳しくはお問い合わせください。

主な取り扱い機種

メーカータイプ機種
エドワーズドライポンプDP40/80、CDP40/80(I)、QDP40/80、IH80、IH600、 IH1000、IL70
メカニカルブースターポンプEH-250/500、QMB-250/500、EH/QMB1200、EH4200
荏原従来機40×20、50×20、65×40、80×25、150×40
AシリーズA07V、A10S、A25S、A30W、A70W、A150W
AAシリーズAA10、AA20、AA30、AA40/70W、AA100W、AA200W

ドライポンプ改造

オーバーホールだけでは解決しない問題に、ポンプの改造・改良を含めた解決策をご提案いたします。例えば、CVD、Etch、インプラ工程の問題解決のため、オーバーホールと同時にポンプガード(HOT N2)、ヒーターおよびコントローラーを追加。ポンプ内部に付着する生成物を抑制しポンプの延命化を図ります。

コントローラー
ヒーター

各種真空機器のオーバーホール

クライオポンプやロボットなど、ドライポンプ以外の真空機器のオーバーホールも行なっています。

クライオポンプオーバーホール

HELIX社製(旧CTI社)Torr 8/10、アルバック社製などのクライオポンプに対応。コンプレッサの修理やアドソーバの交換・再生も行なっています。

主なメンテナンス内容

ポンプ内洗浄/メンテナンスキット交換/冷凍機オーバーホール/排気性能試験など

ロボットオーバーホール

AMAT社製などのロボットに対応。各種ベアリングやシールなどの標準交換部品も常時ストックしておりスピーディな修理・交換が可能です。

設備改造・設計

お客様のご要望に合わせた設備や部品の設計・製作、改造など、さまざまなニーズにお応えします。また、Oリングや半導体部品、中古ポンプなどの販売も行なっています。詳しくはお問い合わせください。

ウエハソーター製作
ヒーター内作